掃描電鏡拍攝圖像時出現(xiàn)拖影怎么辦？

掃描電鏡（SEM）拍攝圖像出現(xiàn)拖影（smearing、streaking 或 shadowing），通常表現(xiàn)為圖像邊緣模糊、重復(fù)輪廓或拉長的影子。

如何判斷掃描電鏡下樣品是否被污染？

判斷掃描電鏡（SEM）下樣品是否被污染，通常可以通過以下幾個方面進(jìn)行觀察和分析：

非導(dǎo)電樣品在掃描電鏡（SEM）中成像時會面臨一個主要問題：電荷積累（charging）。因?yàn)殡娮邮Z擊非導(dǎo)體后，電子無法迅速導(dǎo)出，導(dǎo)致樣品表面積累負(fù)電荷，從而產(chǎn)生圖像漂移、亮度不均甚至成像失敗。

掃描電鏡（SEM）中，Z方向調(diào)節(jié)即樣品臺的上下移動，直接影響樣品表面與電子槍之間的工作距離（WD, working distance），對焦的準(zhǔn)確性和成像質(zhì)量高度依賴這個參數(shù)。

掃描電鏡（SEM）工作時對真空度要求較高，若真空度不夠（即腔室壓力偏高），會對成像質(zhì)量和設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生一系列不良影響。

樣品表面污染會顯著影響掃描電鏡（SEM）成像質(zhì)量，具體表現(xiàn)和影響如下：

使用掃描電鏡（SEM）觀察樣品在某些情況下確實(shí)可能造成樣品損傷。這種損傷取決于樣品的材質(zhì)、電導(dǎo)率、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性、電子束參數(shù)等。

掃描電鏡（SEM）成像過程中出現(xiàn)的偽影（artifact）是影響圖像質(zhì)量和判讀準(zhǔn)確性的重要問題。