等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)CVD/PECVD應用案例
等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)CVD/PECVD應用案例...
MORE INFO → 【化學氣相沉積系統(tǒng)】 2022-11-07
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多功能電感耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)（CVD）是用來制備高純、高性能固體薄膜的主要技術，主要借助微波或射頻的方法將目標氣體進行電離，促進化學反應在較低的溫度下進行，從而在基片上沉積出所期望的薄膜。...
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